成都国产光刻机即将交付，订单额突破亿元大关
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11月初，成都双流的一家本土企业将一批光刻机从空港聚光光电产业园发往全国多个地方。此次设备的订单总金额已经超过了1亿元，许多客户正在迫不及待地等待收货。这批光刻机的生产由中特微公司完成，该公司今年2月才将总部迁至双流，正在车间里加班生产，设备主要用于光芯片、LED和显示半导体等领域。
谈到光刻机，许多人第一时间会联想到技术复杂的极紫外光（EUV）设备。然而，这家国内企业并没有强行进入这一竞争激烈的市场，而是把目光瞄准了接近式光刻机这个利基领域。曾几何时，这个市场几乎被德国、日本和奥地利的几家海外厂商垄断。尽管过去国内的设备多只能在实验室中展示效果，但一旦应用于大规模生产就出现问题，海外大厂也往往不愿意为国内企业提供定制化的服务，造成了市场的空白。
这家企业的团队源自中国科学院，成立不到五年就攻克了UV-LED平行光源、显微对位和精密运动控制等三项关键技术。2023年，他们实现了4/6英寸设备的批量生产，成功打破了国外的市场垄断。目前在光显示的细分市场中，该公司的设备已占据了约80%的份额，产品也供应给国内数十家顶尖企业。这也是国内少数能够为LED行业大规模交付光刻机，并能涉足8英寸MEMS和光通信生产线的本土厂商之一。
企业计划在明年将产能提高到300台，同时研发面板封装激光直写光刻机。如果新项目研发成功，将实现晶圆到面板级光刻机的全面覆盖。选择在双流落户，是因为他们看重当地完善的上下游配套、丰富的人才储备，以及相关的政策扶持。此外，空港科创集团还通过产业基金进行股权投资，帮助弥补本地半导体设备产业链的短板。
目前，空港聚光光电产业园内已经聚集了18家光电相关企业，包括多家专精特新和高新技术企业。双流的光电产业总产值也已经突破了660亿元。半导体设备的制造并不一定要一味追求最难的技术路线，找准市场细分的空缺，并扎实推进量产，依然能够为国产设备赢得一席之地。通过深入耕耘细分市场，国产设备也展现出新的机遇。人们期待更多国产设备能够走入国内的工厂车间。
